10.4.    Тензотиристоры

Тензотиристор – это чувствительный к давлению тиристор с переходом Шотки. Действие прибора основано на анизотропном механическом эффекте, наблюдаемом в переходе Шотки: высота потенциального барьера меняется при изменении ширины запрещен­ной зоны под влиянием механического напряжения.

Тиристор (рис. 10.8) включается при давлении на молибденовый электрод аналогично тому, как это происходит в обычных кремние­вых управляемых вентилях при подаче отпирающего импульса.

Структуру тиристора создают с помощью методов планарной тех­нологии на пластине p-типа: с одной стороны пластины путем диф­фузии получают круглую базу n-типа и кольцевой эмиттер p-типа, на другой стороне – диффузионный эмиттер n-типа. Контакт к кольцевому эмиттеру выполняют путем нанесения алюминия через окно в пассивирующем слое двуокиси кремния. Контактом к базе n-типа служит молибден, нанесенный через другое окно; управляющим электродом – база n-типа, примыкающая к аноду.

Полярность внешнего напряжения выбирают такой, чтобы сме­щение на переходе Шотки между молибденовым контактом и базой было обратным. Давление прикладывается непосредственно к мо­либденовой пленке, через сапфировую иглу (радиус 75 мкм). С уве­личением давления на электрод увеличивается ток эмиттера. При этом, как и в обычных тиристорах, напряжение включения стано­вится ниже приложенного напряжения, прибор включается и оста­ется в этом состоянии до тех пор, пока ток прибора превышает удер­живающий ток. Вольт-амперные характеристики тиристора пока­заны на рис. 10.9.

Конструктивно корпус тензотиристора выполнить сложно. Желательно, чтобы корпус был герметичным и обладал малым механическим со­противлением, что позволило бы использовать приборы при малых давлениях. В то же время он должен защищать приборы от повреж­дений, которые могут быть вызваны чрезмерным давлением.

Тензотиристоры используют как переключатели в кнопочных панелях электронных устройств.