10.   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ТЕНЗОМЕТРЫ

Полупроводниковым тензометром называют полупроводниковый прибор, предназначенный для измерения деформаций.

Сопротивление полупроводниковых материалов изменяется при их механической деформации. Это явление, получившее название тензоэффект, положено в основу работы полупроводниковых тензорезисторов, тензотранзисторов, тензотиристоров.

Изменение сопротивления полупроводника при механической де­формации связано с деформацией кристаллической решетки, с из­менением междуатомных расстояний, приводящим к изменению кон­центрации и подвижности носителей заряда. Тензочувствительность полупроводников зависит от типа электропроводности материала, его удельного сопротивления и направления приложения механи­ческой силы.