2.5.1. Структуры металл/диэлектрик/полупроводник

Электрическое смещение полупроводниковых структур внешним потенциалом, приложенным через металлический затвор, широко используется для управления потенциальными барьерами на границах металл/полупроводник и полупроводник/диэлектрик. Соответствующий выбор полярности внешнего потенциала позволяет формировать в полупроводнике области, обогащенные или обедненные носителями заряда вблизи этих границ. Размер таких областей существенно зависит от величины приложенного напряжения. Электроны или дырки в них могут испытывать квантовое ограничение. Эти структуры, по сути, являются электростатически индуцированными наноразмерными структурами. Примеры таких структур рассмотрим в данном разделе.