Электронные цепи и микросхемотехника 3.1. Традиционные методы осаждения пленок 8 лет назад admin Два метода, первоначально разработанных для технологии микроэлектроники, нашли применение в нанотехнологии. Это химическое осаждение из газовой фазы и молекулярно-лучевая эпитаксия. Читайте также: 3.1.1. Химическое осаждение из газовой фазы 3. ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ 3.10.5. Осаждение пленок Лэнгмюра-Блоджетт Наноэлектроника