Электронные цепи и микросхемотехника

3.11. Формирование наноструктурированных материалов

Существует группа материалов с естественным наноструктурированием, что делает их привлекательными для использования в наноэлектронных и оптоэлектронных приборах. Среди таких материалов – пористый кремний, пористый оксид алюминия и углеродные нанотрубки. Рассмотрим их формирование и основные свойства.