Электронные цепи и микросхемотехника

3.1.   Традиционные методы осаждения пленок

Два метода, первоначально разработанных для технологии микроэлектроники, нашли применение в нанотехнологии. Это химическое осаждение из газовой фазы и молекулярно-лучевая эпитаксия.

Adblock
detector