Два метода, первоначально разработанных для технологии микроэлектроники, нашли применение в нанотехнологии. Это химическое осаждение из газовой фазы и молекулярно-лучевая эпитаксия.
3.1. Традиционные методы осаждения пленок
ЭлектротехникаСайт об электротехнике