Методы создания наноразмерных структур с применением сканирующих точечных зондов берут свое начало от сканирующей туннельной микроскопии и произошедшей от нее атомной силовой микроскопии. Роль этих методов быстро эволюционировала от фундаментальной научной к прикладной технологической. Они сочетают возможность характеризовать поверхность образца с атомным разрешением и нанотехнологические возможности. В связи с этим в данном разделе рассмотрены фундаментальные основы зондовых методов анализа и их технологическое применение.
