Категория - Электронные цепи и микросхемотехника

3.9. Сравнение нанолитографических методов

3.7. Профилирование резистов сканирующими зондами

3.8. Нанопечать

3.5. Нанолитография

3.6. Электронно-лучевая литография

3.4. Лазерное наноманипулирование

3.2.5. Локальное окисление металлов и полупроводников

3.3. Локальное химическое осаждение из газовой фазы

3.2.4. Перпендикулярные процессы

3.2.2. Атомная инженерия