Категория - Электронные цепи и микросхемотехника

3.4.   Лазерное наноманипулирование

3.2.5. Локальное окисление металлов и полупроводников

3.3.   Локальное химическое осаждение из газовой фазы

3.2.4. Перпендикулярные процессы

3.2.3. Параллельные процессы

3.2.2. Атомная инженерия

3.2.   Методы, использующие сканирующие зонды

3.2.1. Физические основы зондовых технологий

3.1.1. Химическое осаждение из газовой фазы

3.1.   Традиционные методы осаждения пленок