Категория - Электронные цепи и микросхемотехника

3.2.5. Локальное окисление металлов и полупроводников

3.3.   Локальное химическое осаждение из газовой фазы

3.2.4. Перпендикулярные процессы

3.2.2. Атомная инженерия

3.2.3. Параллельные процессы

3.2.   Методы, использующие сканирующие зонды

3.2.1. Физические основы зондовых технологий

3.1.1. Химическое осаждение из газовой фазы

3.1.   Традиционные методы осаждения пленок

2.5.2. Структуры с расщепленным затвором