Тензотиристор – это чувствительный к давлению тиристор с переходом Шотки. Действие прибора основано на анизотропном механическом эффекте, наблюдаемом в переходе Шотки: высота потенциального барьера меняется при изменении ширины запрещенной зоны под влиянием механического напряжения.
Тиристор (рис. 10.8) включается при давлении на молибденовый электрод аналогично тому, как это происходит в обычных кремниевых управляемых вентилях при подаче отпирающего импульса.
Структуру тиристора создают с помощью методов планарной технологии на пластине p-типа: с одной стороны пластины путем диффузии получают круглую базу n-типа и кольцевой эмиттер p-типа, на другой стороне – диффузионный эмиттер n-типа. Контакт к кольцевому эмиттеру выполняют путем нанесения алюминия через окно в пассивирующем слое двуокиси кремния. Контактом к базе n-типа служит молибден, нанесенный через другое окно; управляющим электродом – база n-типа, примыкающая к аноду.
Полярность внешнего напряжения выбирают такой, чтобы смещение на переходе Шотки между молибденовым контактом и базой было обратным. Давление прикладывается непосредственно к молибденовой пленке, через сапфировую иглу (радиус 75 мкм). С увеличением давления на электрод увеличивается ток эмиттера. При этом, как и в обычных тиристорах, напряжение включения становится ниже приложенного напряжения, прибор включается и остается в этом состоянии до тех пор, пока ток прибора превышает удерживающий ток. Вольт-амперные характеристики тиристора показаны на рис. 10.9.
Конструктивно корпус тензотиристора выполнить сложно. Желательно, чтобы корпус был герметичным и обладал малым механическим сопротивлением, что позволило бы использовать приборы при малых давлениях. В то же время он должен защищать приборы от повреждений, которые могут быть вызваны чрезмерным давлением.
Тензотиристоры используют как переключатели в кнопочных панелях электронных устройств.
